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发布时间:2010-6-3 9:30:31
三星、LG和友达光电发布氧化物半导体TFT驱动的有机EL面板
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在2010年5月23~28日于美国西雅图举行的全球最大显示器国际学会“SID 2010”的研讨会上,备受关注的一大动向是采用非结晶氧化物半导体IGZO(In-Ga-Zn-O)的TFT底板技术。在液晶面板方面,台湾友达光电(AUO)发布的32英寸产品 在SID上引起轰动。而在有机EL面板方面,除了索尼的11.7英寸产品以外,韩国三星移动显示器(Samsung Mobile Display,SMD)、韩国LG显示器(LG Display ,LGD)和友达光电三家大型面板厂商进行了技术发布。

三星移动显示器开发出采用蚀刻阻挡型TFT构造的19英寸产品

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三星移动显示器的19英寸产品。曾经出展过FPD International 2009

三星移动显示器发布了曾经在2009年10月于太平洋横滨会展中心举行的“FPD International 2009”上展出过的19英寸有机EL面板。IGZO TFT采用七张掩模形成,因此IGZO层采用DC溅射法在室温下成膜。TFT构造采用蚀刻阻挡(Etch Stopper)构造,除了由于源极和漏极的蚀刻处理等而产生的特性劣化外,还在TFT阵列形成后,在250℃下进行了一个小时的热处理,从而提高了工艺的再现性。载流子迁移率为21cm2/Vs,亚阈值摆幅(Subthreshold Swing,S值)为0.29V/decade,导通截止比超过108。

19英寸产品的像素数为960×540,精细度为58.4ppi。每个TFT像素配备了五个晶体管和两个电容器(5T2C)。有机EL元件的元件构造为从TFT底板中提取光的底部发光(Bottom Emission)型。红色采用了磷光材料,绿色和蓝色采用了荧光材料。

LG显示器通过源极和漏极来保护IGZO

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LG显示器的2.8英寸产品。曾经在AUTHOR INTERVIEWS公开过

LG显示器开发出了采用IGZO TFT的2.8英寸产品。此次开发的IGZO TFT改良了逆交错型构造,采用了使用源极和漏极来保护IGZO层的构造。该公司在源极和漏极中采用了Mo/Ti。下侧的Ti电极采用了可以覆盖整个IGZO层的构造。将该Ti电极用作蚀刻上侧Mo电极时的保护层,从而抑制了特性老化。然后,位于通道上部的Ti电极通过氧等离子体处理,成为了具有绝缘性的TiOx。

制作的IGZO TFT的载流子迁移率为9cm2/Vs,亚阈值摆幅(S值)为0.78V/decade,导通截止比超过108。

友达光电采用同一平面型TFT构造

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友达光电的2.4英寸试制品。曾经出展过FPD International 2009

友达光电发布的2.4英寸有机EL面板,与该公司的32英寸液晶面板一样采用了同一平面(Coplanar)型TFT构造。载流子迁移率为6.2cm2/Vs,亚阈值摆幅(S值)为0.19V/decade,导通截止比超过107。

2.4英寸开发产品的像素数为240×320。每个TFT像素配备了两个晶体管和一个电容器(2T1C)。有机EL元件的元件构造为底部发光型。该产品曾经在FPD International 2009展出过。

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